Développement d’un modèle hydrodynamique-radiatif multidimensionnel des plasmas d’étain pour l’optimisation des sources EUV à 13.5 nm

Réf ABG-140320

Sujet de Thèse

23/09/2026

Financement public/privé

Institut National de la Recherche Scientifique (INRS)

Lieu de travail

Varennes - Canada

Intitulé du sujet

Développement d’un modèle hydrodynamique-radiatif multidimensionnel des plasmas d’étain pour l’optimisation des sources EUV à 13.5 nm

Champs scientifiques

- Physique
- Numérique

Mots clés

Simulations numériques, interaction laser-matière, émission de rayonnement

Description du sujet

L’émission ultraviolette extrême (EUV) à 13.5 nm du plasma d’étain est essentielle pour la nanolithographie de nouvelle génération dans l’industrie des semi-conducteurs, mais l’optimisation de son efficacité de conversion constitue un défi. Comprendre comment les paramètres laser, tels que la longueur d’onde, la durée d’impulsion et la structure temporelle, influencent la dynamique du plasma et le rendement EUV est essentiel pour concevoir des sources EUV plus efficaces, compactes et robustes. Ce projet consiste à développer un modèle hydrodynamique-radiatif 2D afin de simuler les interactions laser-étain, en prenant en compte l’absorption laser, l’expansion du plasma et les processus d’émission EUV.



Ce modèle utilisera des paramètres expérimentaux en entrée et sera validé à l’aide de données sur le rendement et la spectroscopie.

Prise de fonction :

01/01/2027

Nature du financement

Financement public/privé

Précisions sur le financement

Financement du gouvernement du Canada

Présentation établissement et labo d'accueil

Institut National de la Recherche Scientifique (INRS)

L’établissement d’accueil, l’Institut national de la recherche scientifique (INRS), Centre énergie matériaux télécommunications, situé à Varennes (Québec, Canada), est une université de recherche et de formation de 2e et 3e cycles, affiliée au réseau de l'Université du Québec, qui se consacre à l’avancement des connaissances scientifiques et à la formation d’une relève hautement qualifiée dans des secteurs stratégiques.

Site web :

https://inrs.ca/centres/linrs/centres-recherche/centre-energie-materiaux-telecommunications

Intitulé du doctorat

Doctorat en sciences de l'énergie et des matériaux

Pays d'obtention du doctorat

Canada

Etablissement délivrant le doctorat

Institut national de la recherche scientifique

Profil du candidat

Le candidat retenu disposera idéalement de solides bases en physique, de préférence en physique des plasmas et en interaction laser-matière, ainsi que d'un vif intérêt pour la modélisation informatique de phénomènes physiques.

Date limite de candidature

31/12/2026

📌 Développement d’un modèle hydrodynamique-radiatif multidimensionnel des plasmas d’étain pour l’optimisation des sources EUV à 13.5 nm (Varennes)
🏢 INSTITUT NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (INRS)
📍 Varennes